德國ADL電源GX 50/250 5KW高精度輸出應用于半導體和微電子行業(yè)

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德國ADL電源GX 50/250 5KW高精度輸出應用于半導體和微電子行業(yè)

（1）GX 50/250 電源介紹

GX 50/250 濺射電源能夠自動消除每秒高達 40,000 次電弧。卓越的性能與小巧的尺寸是 GX 系列的突出特點。該設備可在不限制啟動時間的情況下以全輸出功率運行，也可并聯(lián)使用。

（2）GX 50/250產品亮點

輸出功率 5 - 15 kW

水冷

電磁閥控制（可選）

? 19 英寸機箱，3 HE

無電位輸出

自動電弧熄滅

（3）GX 50/250應用領域

1. 半導體晶圓制程：適配晶圓表面鍍膜、晶圓襯底薄膜沉積等核心工序，為半導體芯片制造提供高精度功率支持，保障晶圓鍍膜的均勻性與一致性；

2. 微電子器件加工：應用于二極管、三極管、集成電路（IC）等微電子器件的表面改性、薄膜制備工藝，滿足器件微型化、高精度的制程要求；

3. 半導體封裝與測試：為半導體器件封裝環(huán)節(jié)的鍍膜防護工藝提供穩(wěn)定電源，提升封裝器件的耐磨、抗氧化與絕緣性能；

4. 高端真空鍍膜研發(fā)：適配高校、科研院所及企業(yè)研發(fā)中心的半導體材料鍍膜實驗室，為新型薄膜材料、新鍍膜工藝的研發(fā)提供高精度實驗平臺；